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姑苏智程请求一种单片式晶圆去胶整理洗刷设备专利有用提高对晶圆外表粘合物的剥离功率

时间:2025-01-09 02:23:36 作者:保洁知识 点击:

  金融界2025年1月8日音讯,国家知识产权局信息数据显现,姑苏智程半导体科技股份有限公司请求一项名为“一种单片式晶圆去胶整理洗刷设备”的专利,公开号CN 119252773 A,请求日期为2024年12月。

  专利摘要显现,本发明供给了一种单片式晶圆去胶整理洗刷设备,包含:储液箱和不少于一组的浸泡槽,浸泡槽内安装不少于一个用于承托单片晶圆的承托座,浸泡槽内盛放没过承托座所承托的晶圆上外表的去胶药液;浸泡槽内坐落承托座正上方设置喷淋组件,喷淋组件具有喷淋管道和喷淋主体,储液箱与喷淋管道穿出浸泡槽的一端连通以使喷淋主体向承托座所承托的晶圆的上外表喷淋去胶药液。本发明用以处理现存技能中批量浸泡晶圆的方法有几率存在的粘合物软化不完全难以被发现的问题导致影响后续晶圆制程的问题,经过单片式浸泡的方法合作喷淋去胶的方法有用提高对晶圆外表粘合物的剥离功率。

  天眼查资料显现,姑苏智程半导体科技股份有限公司,成立于2009年,坐落姑苏市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册本钱7689.6547万人民币,实缴本钱6190.05万人民币。经过天眼查大数据分析,姑苏智程半导体科技股份有限公司共对外出资了3家企业,参加招投标项目126次,知识产权方面有商标信息8条,专利信息201条,此外企业还具有行政许可6个。

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